일부 증착된 물질이 공기 또는 수증기와 반응하지 않도록 보호하기 위해 일반적으로 보관 및 배송 중에 저점도(탄화수소) 광유에 담가둡니다. 오일로 배송된 이러한 구성 재료를 진공 시스템에 설치하기 전에 용매를 사용하여 이러한 오일을 제거해야 합니다. 용매의 선택은 진공 시스템 또는 후속 박막 공정에 대한 추가 오염원으로 작용하지 않는다는 전제를 기반으로 합니다.

용매의 선택
일부 반응성이 높은 증착 재료는 특정 용매와 반응할 수 있습니다. 따라서 항상 본질적으로 탄화수소인 용매를 선택하십시오.

다음은 권장하지 않는 용매입니다. 기름을 제거하는 데 사용하지 않는 것이 좋습니다.

*질소를 함유한 피리딘과 같은 용매를 사용하지 마십시오.
*이황화탄소와 같은 황 함유 용매를 사용하지 마십시오.
*트리클로로에틸렌과 같은 수많은 염소 함유 용매를 사용하지 마십시오.
*알코올, 케톤, 에스테르, 에테르, 푸란 또는 기타 산소가 포함된 용제를 사용하지 마십시오.

그리고 다음은 몇 가지 권장되는 용매입니다. 고순도의 깨끗한(무용질) 탄화수소 용매와 관련된 비용을 최소화하기 위해 초기 세척 단계에서 기술 등급 헥산, 헵탄, 이소옥탄과 같은 기술 등급 용매를 사용할 수 있습니다.

참고: 고순도 등급의 헥산, 헵탄 또는 이소옥탄은 유리 용기에서 운송, 보관 및 사용해야 합니다. 플라스틱 스쿼시 병은 용제에 적합한 용기 선택이 아니라는 점에 유의하는 것이 중요합니다. 용매의 보관 및 취급에 매우 편리하지만 플라스틱의 저분자량 폴리머는 용매에 의해 침출되어 용매가 증발할 때 잔류물로 남습니다. 다시 말하지만, 플라스틱 용기에 보관된 용제는 절대 사용하지 마십시오.

유기 용제 취급 시 주의 사항
거의 모든 유기 용제는 건강에 유해하므로 다음을 확인하십시오.

1) 용제 증기를 흡입하거나 용제 액체를 삼키지 마십시오.

2) 용제 또는 튀는 용제가 피부에 닿지 않도록 하십시오.

3) 증기 근처에 화염이나 히터를 노출시키지 마십시오.

그리고 모든 용제 취급에 주의하십시오.

1) 추출 흄 후드 또는 글러브 박스에서 수행해야 합니다.

2) 적절한 보호 눈 가리개, 앞치마 및 흡수성 호흡기 마스크를 착용한 상태에서만 수행해야 합니다.

3) 사용 중인 용매가 장갑을 녹이거나 침투하지 않음을 입증하는 테스트를 거친 장갑을 착용한 상태에서만 수행해야 합니다.

필요한 환경
공기와 재료 사이의 상호 작용을 지연시키기 위해 약간의 아르곤 양압 하에서 누출 방지 글로브 박스에서 재료를 청소하는 것이 좋습니다. 이것이 불가능할 경우 흄 후드나 환기가 잘 되는 곳에서 모든 청소 단계를 가능한 한 빨리 완료하십시오. 이렇게 하면 재료가 공기에 노출되는 시간을 최소화하고 작업자가 솔벤트 연기에 노출되는 시간도 줄일 수 있습니다.

필요한 장비 및 재료
필요한 청소 재료는 다음과 같습니다.

*적절한 크기, 화학적, 물리적으로 깨끗한 유리 용기(비커 또는 페트리 접시)
*기술적 순도 d(초기 세척 단계에서 사용)
*초고순도 탄화수소 용제(다음 세척 단계에 사용)
*보푸라기 없는 티슈
*재료를 다루기 위해 집게 또는 핀셋을 화학적, 물리적으로 세척합니다.